走査型電子顕微鏡・エネルギー分散型X線分析装置

（株）日立製作所

（株）堀場製作所

走査型電子顕微鏡とエネルギー分散型X線分析装置が一体となった装置です。
　走査型電子顕微鏡（SEM）は、試料に電子線を当てることで試料から返ってくる反射電子あるいは二次電子を検出して像を結び、試料を高倍率で観察できます。
　また、試料に電子線を当てると、電子線のほか、特性X線も発生します。この特性X線をとらえ、元素の分析を行うのがエネルギー分散型X線分析装置（EDS）です。特性X線のエネルギー値は元素により固有の値をとり、エネルギー分散型X線分析装置を使って発生した特性X線を解析することで、試料に含まれる元素やその組成などを知ることができます。
　微小物の観察と同時に元素分析、解析を行うことができます。

走査型電子顕微鏡・エネルギー分散型X線分析装置紹介パネル（PDF：242KB）