ページID:112348更新日:2024年6月14日

ここから本文です。

小型イオンビームミリング装置

小型イオンビームミリング装置

イオンビームミリング装置は、アルゴン雰囲気下で強い運動エネルギーをもったイオンビームを試料表面に照射しエッチングを行える装置です。試料の硬度に依存することなく表面を高精度に削ることができ、平滑な試料断面を得ることができます。また、物理的な力が加わらないので、試料の変形などもなく、従来研磨が行えなかった軟質素材の断面加工も行える装置です。

【この装置は平成28年度「公益財団法人JKA補助事業競輪の補助金)」により導入しました。】

小型イオンビームミリング装置紹介パネル(PDF:766KB)

機種名

ライカマイクロシステムズ株式会社

トリプルイオンミリング装置EMTIC3X

仕様

加速電圧 1~10kV
最大試料寸法

断面ミリング用ステージ:幅25mm×奥行き25mm×高さ5mm

平面ミリング用ステージ:直径38mm×高さ12mm

設定可能温度範囲 断面ミリング用ステージ:-150℃~30℃

 

設備使用料

1,670円/1時間(常温加工)

2,210円/1時間(冷却加工)

担当

富士技術支援センター
機械電子技術部

住所:〒403-0004 山梨県富士吉田市下吉田6-16-2

電話:0555(22)2100 Fax:0555(23)6671

このページに関するお問い合わせ先

山梨県産業政策部産業技術センター 担当:機械電子技術部(富士吉田市下吉田6-16-2)
住所:〒400-0055 甲府市大津町2094
電話番号:0555 (22) 2100   ファクス番号:0555 (23) 6671

同じカテゴリから探す

より良いウェブサイトにするためにみなさまのご意見をお聞かせください

このページの情報は役に立ちましたか?

このページの情報は見つけやすかったですか?

このページを見た人はこんなページも見ています

県の取り組み

pagetop