白色干渉方式表面形状測定機

白色干渉縞を用いて、表面粗さや微少形状を、高精度に非接触測定する装置。

ナノレベルの試料表面形状を3次元的に測定・表示することが可能。

半導体や光学部品、金型など、精度が求められる製品の品質評価に活用できる。

【この装置は令和５年度「地方創生交付金」により導入しました。】

アメテック株式会社ザイゴ事業部

Nexview NX2

測定方式	直立走査型低コヒーレンス干渉法
光源	高輝度白色LED
スキャン範囲	ピエゾンスキャン150μm　モータースキャン20mm RMS再現性：0.005nm 表面形状再現性：0.06nm
電動XYステージ	200mm×200mmストローク
カメラ画素数	1,600×1,200、1,000×1,000画素
光学式ズーム	3ポジション電動タレット式
対物レンズ	1ｘ、10ｘ、20ｘ、50ｘ

8,690円/1時間

5,540円/1件

甲府技術支援センター
機械技術部

このページに関するお問い合わせ先